Caratteristiche tecniche e indicatori principali del prodotto:
Interfaccia software amichevole, scientifica e intuitiva. Possibilità di impostare l'area di esposizione corrente, l'area in attesa di esposizione, l'esposizione
Le informazioni numeriche forniscono una grafica in tempo reale.
● Con il modulo di allineamento posteriore opzionale, l'esposizione di allineamento doppio è possibile aggiornare il modello a doppio
Faccia fronte alla funzione di quasi-esposizione fotografia a proiezione progressiva.
● Configurare il sistema di controllo automatico di rilevamento della superficie focale, dopo l'impostazione della posizione della superficie focale, il processo di esposizione termina automaticamente in tempo reale
Regolazione della superficie focale.
● Utilizzando film freddo e sistema di illuminazione a raggi i, lunghezza d'onda di esposizione di 365 nm, superficie di esposizione di luce fredda, esposizione
Grafica quadrata, ripida, retta.
● Supporta esposizione a contatto vuoto, esposizione a contatto duro, esposizione a contatto a pressione, esposizione di prossimità quattro tipi di esposizione
funzione.
● Utilizzando la tecnologia brevettata - blocco dislocato lenti mosca per ottenere un'illuminazione elevatamente uniforme non uniforme superiore al 2%.
● Adottando un sistema avanzato di allineamento dell'asse, il processo di allineamento viene completato automaticamente, per una varietà di substrati di diverse dimensioni, (compresi i frammenti) allineamento molto applicabile.
Precisione di allineamento: ± 0,5 μm.
Uniformità di illuminazione: 2%.
● Area di esposizione: 3mm x 3 mm ~ 50mm x 50mm.
Sensibilità del movimento del focus: 1 μm.
Dimensioni della maschera: 3 pollici, 4 pollici, 5 pollici.
● Distanza di movimento della stazione di messa a fuoco: 5mm.
● Risoluzione della fotografia: 0,3 μm ~ 5 μm.
● Controllo focale: rilevamento CCD, precisione di rilevamento 0,5 μm.
Fonte di luce: lampada sferica a mercurio da 350W.
● Potenza della lampada di mercurio: 1000W (corrente continua, lampada di mercurio ad alta tensione a corrente continua importata Osram Germania).